DISCO

DISCO

NECパーチェシングサービス
DISCOがあります。正社員1600名、全従業員3000名(平成26年)とのことで、シリコンウェハーの専用カッターでは世界シェア70%とのことです。以前は大鳥居にあったようですが、引っ越しの時に大鳥居にあった「なかおか」というそば屋さんも一緒に引っ越したそうです。DISCOは、もともと「第一製砥所」「DAI-ICHI-SEITO-COMPANY」が社名の由来だそうです。昭和12年に広島県呉市で創業したようです。呉は呉鎮守府でも有名です。

DISCOの平成27年度はアジアや北米の半導体メーカーの設備投資により売上1270億円、営業利益は前期比14%増の305億円とのことです。

半導体製造装置メーカ売上(平成30年3月期予想)
メーカー 売上高 前年比 営業利益 設備投資 研究開発費
東京エレクトロン 9800億円 +22.5% 2160億円 420億円 940億円
日立ハイテクノロジーズ 6800億円 +5.5% 460億円 205億円 278億円
SCREEN-HD 3050億円 +1.6% 340億円 105億円 200億円
アドバンテスト 1720億円 +10.3% 180億円 60億円 330億円
日立国際電気 1690億円 -1.7% 175億円 57億円 127億円
ディスコ 801億円 +22.8% 213億円 100億円 150億円

ダイシングマシンでは東京精密浜松ホトニクスが開発したステルスダイシング技術を用いたレーザーダイシングマシンに力を入れているようです。
浜松ホトニクスの開発したステルスダイシングは東京精密へはSiウエハー対応で、DISCOへはSiウエハーの他、サファイア、ガラス、SiC、GaAs、LiTaO3/LiNbO3、水晶対応のステルスダイシングを供給しているようです。
平成28年にはパワー半導体のSiCをインゴットから切り出すスライス技術にもレーザーを取り入れ、従来のダイヤモンドワイヤ加工マルチスライスで2~3日要していたのをレーザーで約5分でスライスすることが可能になったようです。今回の方法はKABRA(KeyAmorphous-BlackRepetitiveAbsorption)プロセスと言うようです。
プラズマサーモ社が開発した、プラズマによるドライエッチング切断によりチップへのダメージを与えない切断方法を2016年のセミコン台湾で展示したようです。

平成27年度の東京精密の売上高は前期比5%増の700億円となり営業利益は3%増の125億円とのことです。東京精密は自動車エンジンの計測装置などもやっているようですし、半導体製造装置では東京エレクトロンも有名なようです。

ディスコは研究開発用の150mm~200mmウエハーに対応した、設置面積が世界最小の490mm×870mmというウエハー切断装置を平成29年4月から拡販するとのこと。

ディスコは平成28年度の消耗品の売上が全売上の25%に当たる335億円で、平成29年度には400億円、平成32年度に500億円を見込んで、桑畑工場(広島県呉市)を平成31年までに1.5倍に拡張するようです。ダイサーに使われるブレードや3次元NANDフラッシュメモリなどで、ウエハーを積層するための深穴加工など消耗品の売上が増えるようです。

近くにNECパーチェシングサービスや同軸減速器で有名なハーモニック・ドライブ・システムズもあるようです。