![]() レーザーテック |
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![]() LAPISセミコンダクタ |
レーザーテックの本社と研究所があるようです。レーザーテックは昭和35年7月に東京ITV研究所として創業し、昭和37年に日本自動制御(株)、昭和61年にレーザーテック(株)となり、平成20年に新横浜に研究所と本社が移転してきたようです。昭和51年にはLSIフォトマスク欠陥検査装置を開発し、レーザー顕微鏡、SiC、GaNなどのウエハ欠陥検査装置、FPD(液晶などのフラットパネルディスプレイ)装置の大型マスク欠陥検査装置などの光学応用装置を幅広くやっているようです。 10nm対応のEUV(極紫外線)マスク受入検査装置やペリクル付きマスクが測定可能な位相差/透過率測定装置などもやっているようです。 レーザーテックは海外販売についてエルメス・エピテック(漢民科技)(台湾)(1977年設立で2008年現在1109名)と代理店契約をしているとのことですが、系列のエルメス・マイクロビジョン(漢民微測科技)は電子ビーム式検査機で80%のシェアを誇っているようで、光学式では難しい微細な欠陥が検出できるとのこと。また、2016年にはASML(オランダ)が3200億円で漢民微測科技を買収するとのこと。なお、ASMLは7nmに対応した極紫外線EUV露光装置を開発しており、TSMC(台湾)、インテル(米国)、サムスン(韓国)などの半導体大手が出資しているとのこと、キャノンは半導体露光装置でASMLを猛追しているようです。 近くにソシオネクストの本社もあるようです。 沖電気から分離されROHM傘下に入った沖セミコンダクタがありましたが平成23年10月1日にLAPISセミコンダクタに社名を変更したようです。ROHM本社は京都にあります。 |