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ますます拡がる真空技術の応用分野に、多目的に応える高速磁気回転装置
真空技術の応用は、ＬＳＩの微細化、電子部品の高品質化などをはじめ、さまざまな分野での発展が
期待されています。
そうした時代の流れを先取りして、磁性流体シールに代わるまったく新しい高速磁気回転電流装置を
開発しました。
これにより、超高速真空内での高精度な作業や操作・駆動を実現。
◎内容に応じ、どのような仕様もご相談下さい。設計も致します。
回転軸が消えた。シャフト孔がない。超高真空内でも確かな回転伝導。
本装置は、極めて強力な永久磁石を採用。
これを円周状に配置することで、隔壁を通しても強力な回転伝導を生じることに成功しました。
したがって、回転軸はもちろんシャフト孔の必要がなく、極めて高密封度の装置が実現できます。
さらに、従来の磁性流体シールのような、摩擦によるシャフトの熱膨張、熱による脱ガス（金属
表面の付着物が熱によってガス化して真空槽を汚すこと）などの短所がないため、超高真空内で
も高速、そして精確な回転伝導が可能です。
また、隔壁があるために優れた耐久性を誇り、圧力を加えても漏れの心配はありません。
永久磁石８個の場合の配列例▲
■仕様 （単位：mm）
| モデル№ |
ICM-70-8 |
ICM-70-10 |
ICM-70-12 |
ICM-114-10 |
ICM-114-12 |
ICM-152-12 |
ICM-152-15 |
| 全長 a |
272.7 |
272.7 |
272.7 |
415 |
415 |
517 |
517 |
| 外側本体長さ b |
90 |
90 |
90 |
155 |
155 |
185 |
185 |
| 内側シャフト長さ ｃ |
40 |
40 |
40 |
50 |
50 |
67 |
67 |
| 外側シャフト長さ d |
40 |
40 |
40 |
37.5 |
37.5 |
60 |
60 |
| シャフト径 e |
8 |
10 |
12 |
10 |
12 |
12 |
15 |
| フランジ径 d |
70 |
70 |
70 |
114 |
114 |
152 |
152 |
| 本体径 g |
50 |
50 |
50 |
63.5 |
63.5 |
100 |
100 |
| 永久磁気サイズ |
10×10 |
15×15 |
| 永久磁気個数 |
4 |
8 |
| 磁石対面距離 |
2 |
| 許容回転数 |
2,000 |
1,700 |
1,600 |
1,700 |
1,600 |
1,600 |
1,500 |
| 耐真空度 |
10-11pa |
| 耐差圧 |
3kg/cm3 |
| 使用温度 |
-100～+70℃（氷冷オプションの装置により､70℃を超える高温での使用が可能です) |
| ハウジング材質 |
SUS316L |
| シャフト材質 |
SUS316L |
| 隔壁厚 |
1.5 |
★仕様および構造の一部が改良のために予告なしに変更されることがありますので予めご了承下さい。
■ ますます高まる真空利用技術に向けて、その活用領域は無限に拡がります。
真空技術の応用で一躍脚光を浴びたのは、なんといっても半導体の分野です。超ＬＳＩの技術開発と生産が、それ
らに拍車をかけ、真空下での薄膜加工技術と微細加工の高度化・高性能化はとどまることを知りません。わが国
での真空産業界の出荷額の約７０％が、製造を目的とした真空装置であることで明確なように、その需要はます
ます拡大しています。さらに、真空技術の応用分野は、真空でしか得られない高品質の鋼材、非鉄金属、半導体
素子、電子製品など数え上げたら枚拳にいとまがなく、あらゆる産業界にわたって利用されています。また、真空
技術そのもののハイテクノロジー化に伴ない、船舶、航空、宇宙機器の分野にまで裾野を拡げ、核融合ウランの
濃縮なども真空下で行われようとしています。
超高真空磁気回転導入装置は、特に真空装置の利用において画期的な役割を果たすものと考えています。
真空技術の応用分野
電子・電気・エレクトロニクス業界 ＩＣ、ＬＳＩ、磁気ヘッド、ＩＴＯ、ＬＥＤ、放電管、撮像管、マグネトロン、ＣＣＤ、
レーザー加工機、サーマルヘッド、光ディスク、半導体レーザー etc.
精密機器・光学業界 リフレクター、レンズ、カメラボディ、メガネフレーム etc.
輸送機業界 ミラー、ラジエターグリル、シールドビーム、コンデンサ、エバボレータ、
タービンブレード、インスツルメントパネル etc.
機械業界 ギヤー、軸、軸受、ダイス、ホブカッター、エンドミル、ピン etc.
金属・化学業界 抗生物質、診断薬、酵素製剤、血造製剤、ビタイミンＥ、モノグリセリド、
エステル、高沸点有機物、インスタント食品 etc.
エネルギー業界 集熱管、選択照収機、太陽電池、水素貯蔵合金、核融合炉、排気ｼｽﾃﾑ
etc.
科学機器・医療機器業界 排気システム、スペースチャンバ、スモッグチャンバ、炭酸ガスレーザー
etc.
多様な分野での応用が可能
次世代へ、ますます発展活用
●今後、使用されると思われる機器
１．各真空装置 ４．薬品用タンク及び装置 ７．航空関連機器
２．放射性物質、実験用装置 ５．圧力タンク ８．宇宙機器
３．低温実験用装置 ６．船舶関連機器 ９．ゴム、その他の撹拌装置
アモルファス金属・合金製造装置でも、
フルに活躍しています。
本製品は、非晶質（アモルファス）金属・合金及び半導体などの開発研究用として、
非晶質試料（リボン試料）を作製するものです。各種の金属・合金などの非晶質試
料や、その他のリボン状試料を、大気中または真空及びガス気体中においても作製
することができます。非晶質金属・合金、アモルファス半導体は、その特質が重視さ
れるにしたがって、新たな機能材料、構造材料として、学界、研究機関に限らず産業
界からも広く注目されています。超高真空磁気回転導入装置は、アモルファス金属・
合金製造装置でも、その高性能をいかんなく発揮しています。
■ 従来の回軸転シールシステムを遥かに超えてハイポテンシャル回転伝導へ
シャフトが貫通してないから。
●シャフト孔の必要がなく高密封性を実現します。
●Ｏリングやシャフトの摩擦の心配はまったくありません。
●熱による金属熱膨張がありません。
●摩擦がないので、高速回転（20,000rpm以上の回転数）がのぞめます。
●シャフトの材質に、耐蝕性の高いステンレス等が採用可能。それゆえ、活性ガス中でも使用できます。
●磁性流体でみられたシャフトの錆、腐蝕、劣化はありません。
●回転を伝えている側に万一事故が発生しても、駆動モーターへの影響はありません。
隔壁があるから。
●高密封性のため、漏れの心配はありません。
●圧力をかけても、回転伝導の精度は落ちません。
●熱による脱ガスの心配がありません。
●装置内の液体が流出したり、混合することはありません。
●液体・気体による錆の問題はありません。
※以上の特長で明らかのように、容器内に液体・気体を入れても、また真空状態においても、回転及びＸＹＺ
駆動のための漏れ、材質による酸化などの問題などは、超高真空磁気回転導入装置が一挙に解消しました。
※本装置は、ご要望に応じて設計・製作が可能です。また、ステンレス以外の材料（真鍮をはじめとする非磁性
金属、アクリルなど）設定してご仕様に合わせられます。
●高速磁気回転伝導装置使用例
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